FFKM este un material de etanșare de înaltă performanță. Performanța sa excelentă a permis aplicației sale să pătrundă în întregul sistem de fabricație a produselor semiconductoare. Printre acestea, inelele de etanșare FFKM sunt unul dintre principalele consumabile necesare pentru producția de circuite integrate.
structura și caracteristicile de performanță ale FFKM
FFKM este copolimerizat de tetrafluoretilenă (TFE), perfluoroalchil vinil eter (PAVE) ca monomeri principali și o cantitate mică de monomer punct de întărire (CSM). După cum se arată în figura de mai jos, toți atomii de carbon din polimer Atomii de hidrogen de pe cauciuc sunt toți înlocuiți cu atomi de fluor, făcându-l un cauciuc care nu conține deloc legături CH.
Principalele caracteristici de performanță ale FFKM:
1) Proprietăți fizice
Densitatea FFKM este de 1,9-2.0g/cm³. Proprietățile sale mecanice la temperatură normală sunt apropiate de cele ale cauciucului fluorat pe bază de fluorură de viniliden (VDF) (FKM), dar proprietățile sale mecanice la temperatură înaltă sunt mai bune decât cele ale cauciucului fluorat.
2) Rezistenta chimica
Nu există atomi de hidrogen în lanțul molecular FFKM, iar legăturile CC sunt practic înconjurate de o înveliș compusă din atomi F, prezentând o inerție chimică puternică și făcând polimerul semnificativ rezistent la substanțe chimice.
3) Rezistență la temperaturi ridicate și scăzute
Temperatura de funcționare a FFKM este în general de 260 ~ 290 de grade și poate fi utilizată intermitent la temperaturi ridicate de 316 de grade. Deoarece un număr mare de grupări -OCF3 sunt introduse în lanțurile ramificate ale moleculelor, flexibilitatea moleculelor este îmbunătățită și rezistența la temperatură scăzută a cauciucului este îmbunătățită.
4) Rezistenta plasmatica
Într-un mediu cu plasmă, prezintă caracteristici ale produsului de curățenie ridicată și precipitații scăzute și poate rezista mult timp la bombardarea cu plasmă.
Aplicațiile fFKM în semiconductori
În producția de semiconductori, fiabilitatea etanșărilor elastomerice este esențială, deoarece opririle producției pentru înlocuirea etanșărilor sunt extrem de costisitoare. Pentru a evita potențialele riscuri, cerințele pentru curățenia și puritatea sigiliilor sunt foarte stricte. În același timp, garniturile trebuie să poată funcționa pentru o lungă perioadă de timp în mediul de presiune de temperatură ridicată, vid înalt și gaze chimice corozive.
În ceea ce privește aplicațiile semiconductoare, FFKM se concentrează în principal pe:
1) Etanșare cu gaz: În procesul de fabricație a semiconductorilor, procesarea și transportul diferitelor gaze sunt esențiale. Inelele O FFKM sunt utilizate pentru etanșarea conductelor de gaz, supapelor și îmbinărilor pentru a se asigura că gazul nu se scurge și pentru a menține stabilitatea procesului.
2) Gravare și curățare: Etapele de gravare și curățare în procesele semiconductoare implică adesea utilizarea unor medii corozive, cum ar fi acizi sau alcali puternici. Inelele O FFKM sunt utilizate pe scară largă în piesele echipamentelor în contact cu aceste medii, cum ar fi camerele de gravare, rezervoarele de curățare etc., datorită rezistenței excelente la coroziune.
3) Transportul lichidelor și chimice: în producția de semiconductori, diferite lichide și substanțe chimice trebuie transportate, cum ar fi soluții, solvenți, fluide de curățare etc. Inelul O FFKM poate fi utilizat pentru a etanșa componentele echipamentelor, cum ar fi țevi, supape și pompe, pentru a asigura livrarea în siguranță a mass-media.
4) Mediu cu temperatură ridicată: anumiți pași din procesul de semiconductor trebuie efectuate într-un mediu cu temperatură înaltă, cum ar fi tratamentul termic, recoacere etc. Inelele O FFKM au o rezistență excelentă la temperaturi ridicate și sunt capabile să-și mențină elasticitatea și etanșarea. proprietăți la temperaturi ridicate.
5) Tratarea apei ultrapure: în producția de semiconductori, apa ultrapură este folosită pentru curățarea și purificarea echipamentelor și materialelor. Inelele O FFKM sunt utilizate pe scară largă pentru a etanșa echipamentele de tratare a apei ultrapure pentru a preveni intrarea impurităților și a contaminanților.
Datorită costului ridicat al materiilor prime din cauciuc FFKM, condițiile de lucru în care sunt utilizate de obicei garniturile FFKM sunt extrem de dure. În aceste condiții dure de lucru, alte cauciucuri sunt predispuse la coroziune, umflare, dizolvare, îmbătrânire și întărire etc., ducând la defectarea etanșării și, prin urmare, nu pot îndeplini cerințele de etanșare. Datorită rezistenței sale excelente la coroziune și rezistenței la temperaturi înalte, cauciucul FFKM nu numai că poate îndeplini cerințele de etanșare ale condițiilor dure de lucru, ci și poate crește durata de viață a garniturilor și poate reduce costurile de întreținere ale clienților.
