R32 Difluormetan ca gaz de gravare uscată pentru Si3N4

R32 Difluormetan cunoscut și sub denumirea de HFC-32, formulă moleculară: CH2F2, ca gaz de gravare anizotrop pentru Si3N4, are o selectivitate relativ scăzută pentru SiO2 și Si. Pe lângă faptul că este agentul de gravare principal, poate fi folosit și ca gaz auxiliar pentru alți agenți principali de gravare pentru a ajusta raportul fluor/carbon.

 

R32 – Caracteristici cheie:

1.Non-epuizarea stratului de ozon

2.Non-toxic

3.Hidrofluorocarbon (HFC) gaz

4. Ulei: POE (ulei de poliolester)

În epoca modernă a producției de semiconductori, în care precizia și miniaturizarea sunt factori cheie, procesul de gravare joacă un rol vital. Gravarea este o tehnică complexă utilizată pentru a îndepărta selectiv straturile de material din plachetele semiconductoare, permițând crearea de modele complexe de circuite.

Gravarea uscată este utilizarea gazului pentru a grava mediul. Metodele obișnuite de gravare uscată includ gravarea fizică (cum ar fi gravarea cu fascicul de ioni) și gravarea chimică cu vapori (cum ar fi gravarea cu plasmă). Gazul este folosit pentru a impacta suprafața substratului pentru zgâriere, iar caracteristica sa este precizia ridicată a procesării.

R32 Difluormetanul este un gaz de gravare uscată utilizat în mod obișnuit, utilizat pe scară largă în procesele de gravare cu plasmă din industria electronică. În plus, este, de asemenea, un lichid de răcire cu potențial zero de epuizare a stratului de ozon și este utilizat pe scară largă în echipamentele frigorifice, cum ar fi aparatele de aer condiționat, frigiderele și aparatele de aer condiționat auto. În comparație cu agenții frigorifici tradiționali, gazul R32 are o eficiență de refrigerare mai mare și un impact mai mic asupra mediului.

Xiamen Juda este un furnizor de top de soluții de gaz de gravare și refrigerare în China, oferind o gamă largă de produse precum R32, C4F8, SF6, CF4 și gaz frigorific. Înființată în 1988 de unul dintre pionierii din China în producția de produse chimice, Juhua Group Corporation, Xiamen Juda s-a dedicat exportului de substanțe chimice fluorurate din 2004. Echipa noastră este dedicată excelenței și să furnizeze soluții de top pentru a satisface nevoile clienților noștri. Ne mândrim cu reputația noastră de lungă durată pentru calitate și fiabilitate. Cu Xiamen Juda, puteți avea încredere că obțineți ce este mai bun din industrie.